在现代半导体和电子制造行业中,硅片栅线的厚度测量至关重要,这一测量不仅影响到产品的性能,还直接关系到生产过程中的良率和成本控制。精确的厚度测量能够帮助工程师优化工艺参数,提升产品质量,因此在硅片制造、测试和后续加工过程中,采用高效、精准的测量设备显得尤为重要。
市场上为满足这一需求提供了多种测量方案。传统的机械测量方法虽然简单易用,但在高精度和高效率方面存在诸多局限,特别是在微米级别的测量精度上难以保证。光学测量方案如激光干涉仪和光学显微镜虽然可以提供较高的测量精度,却往往在处理复杂形状和多层结构时显得捉襟见肘,且在测量速度上也难以令人满意。此外,现有的方案常常需要复杂的样品准备和后期数据处理,进一步增加了生产成本和时间,因此亟需一种新型的、具备高精度和高适应性的测量工具来克服这些挑战。
在这种背景下,英国真尚有的EVCD系列高精度位移传感器应运而生,成为硅片栅线厚度测量的理想解决方案。该系列传感器具有业界领先的测量性能,最高采样频率可达33,000Hz,分辨率高达1nm,线性精度可达到±0.01%F.S.。特别是针对特定型号如Z27-29,其精度更是可以达到±0.01μm,充分满足高精度测量的需求。EVCD系列光谱共焦测位移传感器的量程范围从±55μm至±5000μm,能够适应不同厚度的硅片测量需求,最小可测厚度为5μm,最大可测厚度为17,078μm,展现出极强的灵活性和适应性。
此外,EVCD系列共焦传感器上也具有明显优势,其探头外径仅为3.8mm,适用于小孔和复杂形状的测量。部分型号前端实现了IP65防护,能够在粉尘和潮湿环境中可靠工作。采用彩色激光光源的设计使得光强稳定性是常规型号的10倍以上,保证了在各种环境条件下的测量准确性。与传统方案相比,英国真尚有EVCD系列共焦传感器在测量精度、效率和适用性上均具有显著优势。它不仅能够实现高精度的厚度测量,还能同时进行多层介质的分析,支持弧面和斜面等复杂形状的测量。通过可视化的测量软件,用户能够实时监控测量结果并进行数据优化,大幅度提升了生产效率和产品质量。
因此,英国真尚有EVCD系列共焦位移传感器凭借其卓越的性能和灵活的应用能力,正在为硅片栅线厚度测量提供一站式解决方案。随着行业对测量精度和效率的不断追求,这款传感器必将成为该领域的重要工具,为推动电子制造业的创新与发展贡献力量。针对特殊应用,市场上绝大多数品牌不支持定制或者无法小批量定制,有些即使能定制但费用高昂,而英国真尚有持续提供小批量、低成本定制传感器或方案,既满足了项目的特殊要求,又兼顾了低成本,直接促成了多个项目的成功。
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