
数字压电转换器(DP)是一个压电转换设备,具有很高的线性度和非常完美的重复性,量程最大70μm,最小15um,延迟小于1nm。
普通压电转换器是非线性的,而且表现出滞后和不稳定的现象。为了克服这些不足之处,每个DP转换器都会内置一个位置传感器。这种传感器的输出控制电压消除滞后、非线性和输出不稳定的情况。每个DP转换器都会提供一个校准曲线,它可以作为一个基础,用于修正非常微小的非线性误差。
 
位置检测电路和压电驱动放大器已经微型化封装在独立的DP控制器,只需要给它提供±15V的电压就可以工作。这使得DP转换器非常适合于OEM应用。DP控制器跟模拟输入,14位并行数字接口,状态行和准备信号就可以组成一个完善系统。 
DP转换器要能工作,最少需要一个DP控制器。对于实验室应用,如果要使用三个以上的DP控制器,可以安装在一个AX301主机里面,AX301提供位置显示,可选IEEE488,RS232和并行接口,并允许手动控制DP转换器。
外壳材料用不胀钢和微晶玻璃;
15、35、70um的移动距离;
分辨率高达纳米级;
1ms响应时间;
安装方便简洁;
特别适用于OEM应用;
扫描显微探针;
硬盘磁头测试;
近场扫描光学显微镜;
精密工程…… 
参数  | 符号  | 值  | 单位  | 备注  | |||
静态参数  | 
  | 4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V  | 
  | 
  | |||
型号  | 
  | S  | M  | L  | 
  | 
  | |
材料  | 
  | 不胀钢和微晶玻璃  | 
  | 
  | |||
长度  | 
  | 42.2±0.3  | 76.7±0.3  | 127.8±0.3  | mm  | 
  | |
直径  | 
  | 20±0.15  | 
  | 
  | mm  | 
  | |
净重(不包含电缆和接头)  | 
  | 70  | 110  | 170  | g  | 
  | |
线缆长度  | 
  | 2040±40  | 
  | 
  | mm  | 
  | |
*移动范围  | dxp·max  | >15  | >35  | >70  | μm  | 
  | |
最大负荷  | 
  | 5  | 5  | 5  | Kg  | ①  | |
动态参数  | 
  | ||||||
工作温度  | 
  | +10~+50  | 
  | 
  | ℃  | 
  | |
储存温度  | 
  | 0~+70  | 
  | 
  | ℃  | 
  | |
相对湿度  | 
  | 5~95(无冷凝)  | %  | 
  | |||
工作压力  | -VAC  | 10-3~10-5  | t  | 
  | |||
-UVAC  | 10-3~10-9  | t  | 
  | ||||
响应时间  | txs·s  | 1  | 4.3  | 25  | ms  | 
  | |
*位置噪音(1δ)  | δXp·n  | 1(使用低噪声控制器为0.5)  | nm  | ②  | |||
误差  | 
  | 
  | 
  | 
  | |||
*磁滞  | δxp·hyst  | ≤1  | nm  | 
  | |||
*线性度  | δxp·lin  | ≤0.1  | ≤0.15  | ≤0.15  | %  | ③  | |
重复性  | 
  | ≤1  | nm  | 
  | |||
注意:
这些参数由各转换器实测并提供的。
DP在Z轴方向最大能承受的负载。
②、真实位置噪声。
③、满量程的相对误差。
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